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智能型無(wú)塵無(wú)氧烘箱 高溫氮?dú)鉄o(wú)氧PI烤箱 電子膠體固化：銀膠/BCB膠/光刻膠高溫固化（300-450℃）晶圓加工：退火處理、PI膜烘烤（±1℃波動(dòng)精度）陶瓷燒結(jié)：電子陶瓷材料無(wú)塵烘干（Class100潔凈環(huán)境）
? ?精密熱處理?
電子膠體固化：銀膠/BCB膠/光刻膠高溫固化（300-450℃）
晶圓加工：退火處理、PI膜烘烤（±1℃波動(dòng)精度）
陶瓷燒結(jié)：電子陶瓷材料無(wú)塵烘干（Class100潔凈環(huán)境）
? ?行業(yè)覆蓋矩陣?
| 核心行業(yè) | 典型應(yīng)用產(chǎn)品 | 工藝優(yōu)勢(shì) |
|---|---|---|
| 半導(dǎo)體制造 | 晶圓、觸摸屏ITO玻璃 | 氧含量≤20ppm防氧化 |
| 顯示面板 | LED封裝、OLED基板 | 溫度均勻度≤±1.5%℃ |
| 新能源 | 光伏電池板、PCB板 | 15℃/min急速升溫（定制版） |
| 參數(shù)類別 | 技術(shù)指標(biāo) | 可定制選項(xiàng) |
|---|---|---|
| ?箱體結(jié)構(gòu)? | 內(nèi)箱SUS304不銹鋼/外箱冷軋板噴塑 | 全不銹鋼/防爆涂層 |
| ?工作室尺寸? | 標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格：300×500×700mm | 非標(biāo)尺寸定制 |
| ?溫控系統(tǒng)? | RT+50~450℃ | 分辨率0.1℃ | 波動(dòng)≤±1℃ | 600℃高溫?cái)U(kuò)展 |
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? 潔凈度：Class100（ISO 5級(jí)） └ 可選配Class1000（ISO 6級(jí)） ? 氧含量控制：≤10ppm（N?置換系統(tǒng)） └ 配備在線氧分析儀 ? 熱交換系統(tǒng)：線性降溫4℃/min（80℃以下）
：工業(yè)級(jí)PLC+HMI觸摸屏
：支持30組999段程式設(shè)定
：六點(diǎn)溫度記錄儀（符合FDA 21 CFR Part 11）
| 設(shè)備型號(hào) | 工作室容積 | 適用生產(chǎn)場(chǎng)景 |
|---|---|---|
| JS-GYM040-AI | 0.043m3 | 實(shí)驗(yàn)室研發(fā)/小批量試制 |
| JS-GYM090-AI | 0.091m3 | 中型元器件連續(xù)生產(chǎn) |
| JS-GYM125-AI | 0.125m3 | 光伏電池板熱處理 |
| JS-GYM210-AI | 0.210m3 | 晶圓廠量產(chǎn)型工作站 |
?三位一體精準(zhǔn)控制?
：PID算法+SSR控制，達(dá)成±0.1%超調(diào)抑制
：HEPA+ULPA雙級(jí)過(guò)濾系統(tǒng)，顆粒物截留率≥99.995%
：氮?dú)饣蛘婵罩脫Q+氣體循環(huán)復(fù)合系統(tǒng)，殘氧量達(dá)軍工標(biāo)準(zhǔn)
